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    新聞資訊

    潔淨室簡介
          潔淨室是指將一定空間範圍內空氣中的微粒子、有害空氣、**等汙染物排除，並將室內溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內，而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。
          潔淨室*主要之作用在於控製產品（如矽芯片等）所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造，此空間猎奇影视下载稱之為潔淨室。按照國際慣例，無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵，而是控製在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於猎奇影视下载常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對於光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負麵影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。
          每立方米將小於0.3微米粒徑的微塵數量控製在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。芯片級生產加工的無塵標準對於灰塵的要求高於A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控製在每立方英寸1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。
    空態：已經建造完成並可以投入使用的潔淨室（設施）。它具備所有有關的服務和功能。但是，在設施內沒有操作人員操作的設備。
    靜態：各種功能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔淨室（設施），但是設施內沒有操作人員。
    動態：處於正常使用的潔淨室，服務功能完善，有設備和人員；如果需要，可從事正常的工作。
    單向流（層流）潔淨室原理
          在潔淨室內，從送風口到回風口，氣流流經途中的斷麵幾乎沒有什麽變化，加上進風靜壓箱和高效過濾器的均壓均流作用，全室斷麵上的流速比較均勻，而至少在工作區內流線單向平行，沒有渦流。這也就是單向流潔淨室的三大特點。這裏的流線單向平行，是指時均流線彼此平行，方向單一。
          單向流潔淨室的流態從雷諾數判斷是紊流的，所以所謂層流潔淨室的層流和流體力學上的層流是完全不同的概念。因此，層流潔淨室這個名詞是不貼切的，國外某些標準和文章也指出這一點，例如英國標準BS-5295就曾把所謂層流潔淨室定義為單向流潔淨室，隻是照顧習慣在括號中注明為層流。前聯邦德國標準VDl- 2083則用“非紊流的置換流”這一術語，並在注中指出，層流這一概念隻是為了區別早於層流潔淨室出現的紊（亂）流潔淨室而在當時采用的習慣用語，“層流係統”的確切意思並不是分層流動，而是紊流的置換流，用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學中，這種流動狀態也可稱平行流或單向流。1977年中國在《空氣潔淨技術措施》中選用了“平行流”這個術語，在該術語後麵同時也指出習慣上稱“層流”。
          在單向流潔淨室內，幹淨氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷麵，所以這種潔淨室不是靠潔淨氣流對室內髒空氣的摻混稀釋作用，而是靠潔淨氣流推出作用將室內髒空氣沿整個斷麵排至室外，達到淨化室內空氣的目的。所以，前聯邦德國有人稱單向流潔淨室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。幹淨空氣就好比一個空氣活塞，沿著房間這個“氣缸”，向前（下）推進，而使塵粒隻能前（下）進，沒有返回，把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。
          在單向流潔淨室以及單向流淨化設備中，可以發現沿壁的和兩個過濾器搭接處下方的反向氣流。這種氣流將把下方的汙染傳輸到上部再送下來，破壞了上述“活塞流”的狀態，危害極大。對於和外界有開口相通的局部淨化設備，例如潔淨工作台，這種氣流將引射外界汙染氣流，在設計上一定要減小過濾器邊框處所占的無效麵積，更要設法使空間的壁麵盡量接近過濾器有效迭風截麵。
    通過上麵分析，可以認為保證單向流潔淨室特性（高潔淨度和快速自淨恢複能力）的重要先決條件有兩個：①來流的潔淨度；②來流的活塞流情況；
          對於來流的潔淨度，對通過高效以上過濾器送風的單向流潔淨室來說是不成問題的，而對於來流的“活塞流”情況，則需作進～步分析。
          根據流體力學原理，來流條件對以後的流動狀況將有直接的重要影響，送風麵出口氣流也就是工作區的來流。
          來流的紊動性大，則將影響後麵的單向流特性；來流未充滿流動截麵，則將影響後麵是否能形成“活塞流”和形成的快慢；而來流未充滿流動截麵也是來流素動的一個因素。所以，在采用高效過濾器的條件下，保證單向流潔淨室特性的必要條件是“活塞流”，而“活塞流”的必要條件則是來流充滿流動截麵。但是，對一間房間而不是一段管道來說，讓氣流從頭至尾完全充滿流動截麵也是不現實的。
          *初，確實認為這種單向平行的氣流應該充滿整個潔淨室，但這在技術上和經濟上都是不利的。隨著認識的發展，人們又指出這種單向流隻是“在有限的領域內全部空氣沿平行流線以等速流動的意思”，並認為能極力抑製渦流的發生。通過全空間的清潔空氣的單向流特性占支配地位的那樣的房間，也稱為單向流潔淨室。這就是說，不要求在整個房間都具有單向平行的流線，均勻的速度，沒有渦流，而是隻要求單向平行流特性在這個房間中占支配地位，例如在整個工作區這一層空間保證了單向流，這個房間就是單向流潔淨室。前麵介紹過的國內外有關標準、措施中關於單向流潔淨室達到的高潔淨度，就是指在工作區內達到的潔淨度。因此，密集布置的流線型散流器頂送和全孔板頂送，也被作為實現垂直單向流的手段使用。
    亂流原理：
          潔淨室按其氣流狀態來區分，主要分為亂流（非單向流）潔淨室、單向流潔淨室和輻流潔淨室（也有稱矢流潔淨室的），這一節主要討論亂流潔淨室。前麵已經指出，不論是哪一種潔淨室，都是紊流流態。那為什麽不都叫紊流潔淨室呢？
          亂流潔淨室的名稱是借用於日文，但是日文的亂流就是紊流的意思，而中國*早在《空氣潔淨技術措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含義而不同於流體力學上的紊流這一專有名詞。國際上習慣稱這種潔淨室為非單向流潔淨室。
    所謂亂流潔淨室，一般包括以下各種送風形式：
    ⑴高效過濾器頂送（有擴散板和無擴散板）。
    ⑵流線型散流器頂進。
    ⑶局部孔板頂送。
    ⑷側送。
          具有這些送風形式的潔淨室，如以雷諾數判斷，顯然屬於紊流流態，但是如果把它們稱為紊流潔淨室就不合適。氣流沿整個頂棚下送，室內速度達到0.25m/s 以上，這種室內的流動狀態也是紊流，但在後麵就會搞清楚，雖然這兩種送風方式都造成室內紊流流態，但是就其淨化室內空氣的原理來說，卻是根本不同的，後者屬於單向流或平行流潔淨室的淨化原理。所以如果把前者稱為紊流潔淨室，則後者也應被包含進去了。
          亂流潔淨室的主要特點是從來流到出流（從送風口到回風口）之間氣流的流通截麵是變化的，潔淨室截麵比送風口截麵大得多，因而不能在全室截麵或者在全室工作區截麵形成勻速氣流。所以，送風口以後的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產生。這就決定亂流潔淨室的流態實質是：突變流；非均勻流。
    這比用紊流來描述亂流潔淨室更確切、更**。紊流主要決定於雷諾數，也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風形式，則即使流速極低，也要產生上述各種結果，這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發生的摻混，而且還有全室範圍內的大的回流、旋渦所發生的摻混。
          所以，概括地說，亂流潔淨室的作用原理是：當一股幹淨氣流從送風口送入室內時，迅速向四周擴散、混合，同時把差不多同樣數量的氣流從回風口排走，這股幹淨氣流稀釋著室內汙染的空氣，把原來含塵濃度很高的室內空氣衝淡了，一直達到平衡。所以氣流擴散得越快，越均勻，稀釋的效果就越好。所以亂流潔淨室的原理就是稀釋作用。

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